一、 工作方法：

電機帶動研磨盤做高速旋轉，轉速高達1200rpm，高精度位置氣缸帶動大單晶夾頭在上下滑動裝置的基礎上做上下運動，同時提供恒定的壓力使大單晶和研磨盤摩擦磨削，采用高精度位置氣缸實時監控，前后進給電機驅動帶動大單晶夾頭做前后往復進給運動，其移動量可根據所需量調整，當磨削達到所設定的磨削量后電控系統自動停止完成整個磨削過程。

二、主要技術指標：

1、壓力可調范圍：20～80N；2、監控精度：0.02mm；3、磨削量精度：≤0.02mm；

4、檢測平面度：≤0.02mm；5、大單晶夾頭前后移動量：60-80mm，前后進給速度15mm/s；以上技術參數均可由用戶在電控系統觸摸屏上根據需求設定。